ウエハープロトスクッションプロトスキャリアフタプロトスキャリアフタウエハープロトスキャリア本体プロトスキャリア本体プロトススペーサープロトススペーサープロトスクッションプロトススペーサーウエハーリングスペーサープロトスクッションリングスペーサープロトスクッションウエハーリングスペーサー外寸高さ「H外寸」フタ本体外寸「□A」内壁ウエハー収納エハ有効高さ「h」有効収納可能ウエハー直径「∅Dウエ」＜１．０×１０6Ω導電性PP1.0×１０４Ω ≦ R ≦ １０９ΩHow to PackingHow to Packing(数字はウエハーサイズ inch)ウエハー搬送用ケース●コンパクトデザインにより輸送コストを削減できます。●密閉性に優れています。●各ウエハーサイズに対応しています。●自動ウエハー移載装置に対応しています。特 長プロトスキャリア MAシリーズMA-4/5/6S/8S/12●別売のリングスペーサーT-WSR200Wを使用することで非接触搬送が可能です。●スナップフィット式なので、容器の開閉が容易です。●密閉性に優れています。特 長 プロトスキャリア ＮＡシリーズNA-8M（8インチ用）拡大拡大リングスペーサー T-WSR200W商品名品番抵抗値基材規格商品名品番規格導電性PP基材抵抗値MA-5MA-6SMA-8SMA-1290㎜90㎜63㎜65㎜76㎜47.8㎜50㎜38㎜38㎜44㎜103±1㎜128±1㎜153±1㎜203±1㎜302±1㎜150㎜150㎜175㎜226㎜328㎜品番外寸高さ「H」外寸「A」ウエハー収納有効高さ「h」収納可能ウエハー直径「D」93㎜69㎜NA-8M202＋1㎜226㎜品番外寸高さ「H」外寸「A」ウエハー収納有効高さ「h」収納可能ウエハー直径「D」1.0×１０４Ω ≦ R ≦ １０９Ω●コンパクトデザインにより輸送コストを削減できます。●丸みのあるデザインにより包装袋の破損を軽減できます。●ウエハーエッジホールド機構により搬送時のウエハー破損を防止できます。●RFID収納ポケット付き特 長 プロトスキャリアＮＡシリーズNA-300LA（１２インチ用）商品名品番規格導電性PP基材抵抗値NA-300LA79㎜44㎜301.9+1.0/-0.2㎜328+0/-2.0㎜品番外寸高さ「H」外寸「A」ウエハー収納有効高さ「h」収納可能ウエハー直径「D」RFID収納ポケット容器ＴＯＰ側（裏面構造）※MA-12→SEMI standard/SEMI G90※MA-4は、MA-5の容器内に4inchサイズのインナーカセットが装着された構造になります【Compression Tab】容器蓋（TOP）の４箇所に設置した、ウエハーエッジをホールドするアキレス独自の機構であり、搬送時のウエハー破損を防止できます。5
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