スペーサーウエハーインナートレー４インチ用（VFS-4-6R-65A）は、プロトスキャリア「ＭＡ－６Ｓ」、６インチ用（VFS-6-8R-65A）は、プロトスキャリア「ＭＡ－８Ｓ」をご使用下さい。チップトレー用スペーサーPEA-□×□-100（Z1）（PEAタイプ：帯電防止グレード）CPS-□×□-100（Z2）（CPSタイプ：導電性グレード）ST-PET □×□-100 （ST-PETタイプ：透明導電グレード）（□は、mm数値）商品名品番●安定した静電気対策性能●低パーティクル●低イオンコンタミ特 長チップトレー用スペーサー（プロトススペーサー&ST－PETフィルム）※ご要望される加工サイズでの対応をさせていただきます。お問い合わせください。※PEAタイプ及びCPSタイプの厚みは、「350μｍ（エンボス加工タイプ）」の対応も可能です。プロトスキャリア専用インナートレー（化合物ウエハー用）●プロトスキャリアと組み合わせる事で、更に割れやすい化合物ウエハーの搬送が可能です。●汚染性の少ないクリーン導電材「ＳＴポリ」を使用しています。●低パーティクル●低アウトガス●高透明性特 長プロトスインナートレーVFS-4-6R-65A/VFS-6-8R-65A(4インチ化合物ウエハー用 /6インチ化合物ウエハー用)収納時断面（イメージ）使用例（イメージ）導電性 A-PET基材＜1.0×10７Ω抵抗値商品名品番品番基材厚みPEA-□×□-100（Ｚ１）CPS-□×□-100（Ｚ２）ST-PET □×□-100帯電防止ＰＥ導電性ＰＥ透明導電ＰＥＴ（STポリ）100μm＜１．０ｘ１０１1Ω＜１．０ｘ１０９Ω＜１．０ｘ１０７Ω抵抗値物性表8
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