製品情報Product Information
当社独自の導電処理を施したPI、PENを基材とし、シリコン・耐熱アクリル粘着剤を使用した静電チャック向けの導電性耐熱テープです。ガラスウエハーやガラスサポートウエハーに貼ることで低電圧で静電チャックが可能、MEMS、CMOS、IGBTなど様々なウエハーでご使用いただけます。また、200℃以上の耐熱性、耐薬品性を有することから半導体工程におけるウエハー表面保護用途としてもご使用可能です。
| 商品名 | STチャックテープ |
|---|---|
| 品番 | STSI-PEN#25（ベースフィルム：PEN） STSI-PI#25 （ベースフィルム：PI） |
| 用途 | CVD、スパッタ、プラズマエッチング、ケミカルエッチング、ベーキングなど、様々な半導体製造工程でのウエハー保護用。 静電チャック用途 |
| 特長 |
|
| 項目 | データ | 測定方法 | |
|---|---|---|---|
| STSI-PEN#25 ベースフィルム：PEN |
STSI-PI#25 ベースフィルム：PI |
||
| 使用可能温度 | 180℃以下 | 300℃以下 | - |
| 表面抵抗率（基材面） | 1.3×10 |
1.3×10 |
高抵抗計 |
| 表面抵抗率（粘着面） | ＞1.0×10 |
＞1.0×10 |
高抵抗計 |
| 減衰時間 | ＜0.3sec. | ＜0.3sec. | FTM 101C-4046 （23℃×15%RH） |
| 粘着力（対ガラス） | 0.18N/25mm | 0.18N/25mm | 170° 剥離試験 |
| アウトガス | 34μg/g | 43μg/g | 170℃, 10min |
| 全光線透過率 | 75% | 47% | JIS K 7105 |
| ベースフィルム厚み | 糊厚み | 幅 | 長さ |
|---|---|---|---|
| 25±2µm | 15±2µm | 240±2mm（200㎜ウエハー用） 330±2mm（300㎜ウエハー用） |
20m 80m |
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