| ウエハーサイズ | 品番 | 収納枚数 | 外寸 ⾧さ・幅 |
外寸 高さ |
収納部内径 | 特長 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 6インチ | ND-6N | 13枚 | 250 | 81 | 230±1 | |
| VFP-6R-90FGA | 1枚 | 両面非接触 | ||||
| 8インチ | ND-8 | 13枚 | 322 | 92 | 299±1 | |
| VFP-ND-8R-90CA | 1枚 | 両面非接触 | ||||
| 12インチ | ND-12 | 13枚 | 430 | 74 | 403±1 | |
| NDM-12 | 13枚 | 430 | 72 | 402＋0.5/-1.5 | ||
| NDM-12M | 25枚 | 430 | 92.5 | 402＋0.5/-1.5 | ||
| VFP-ND-12R-90A | 1枚 | 両面非接触 |