| ウエハーサイズ | 品番 | 収納枚数 | 外寸 ⾧さ・幅 |
外寸 高さ |
収納部内径 | 特長 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 4インチ | MA-4 | 25枚 | 150 | 91 | 103±1 | 2重壁構造による対衝撃設計。 コンパクトデザイン。 段積み可能。 |
| 5インチ | MA-5 | 150 | 91 | 128±1 | ||
| 6インチ | MA-6S | 175 | 63 | 153±1 | スリムタイプ | |
| 8インチ | MA-8S | 226 | 65 | 203±1 | スリムタイプ | |
| NA-8M | 226 | 93 | 202±1 | 非接触搬送対応(リングスペーサー使用) | ||
| 12インチ | NA-12F | 328 | 76 | 302±1 | ||
| NA-300LA | 328 | 79 | 301.9＋1/-0.2 | ウエハーのホールド機構(Compression Tab) ロードポート対応(SEMI規格) RFID収納ポケット付き |
||
| SS-12ST | 1枚 | 317 | 21 | 302 +0.5/1.5 | 両面非接触 |