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ウエハーケース（HWS）

ウエハーサイズ	品番	収納枚数	外寸 ⾧さ・幅	外寸 高さ	収納部内径	特長
4インチ	MA-4	25枚	150	91	103±1	2重壁構造による対衝撃設計。 コンパクトデザイン。 段積み可能。
5インチ	MA-5		150	91	128±1
6インチ	MA-6S		175	63	153±1	スリムタイプ
8インチ	MA-8S		226	65	203±1	スリムタイプ
	NA-8M		226	93	202±1	非接触搬送対応(リングスペーサー使用)
12インチ	NA-12F		328	76	302±1
	NA-300LA		328	79	301.9＋1/-0.2	ウエハーのホールド機構(Compression Tab) ロードポート対応(SEMI規格) RFID収納ポケット付き
	SS-12ST	1枚	317	21	302 +0.5/1.5	両面非接触

フレーム付きウエハーケース（FFS）

ウエハーサイズ	品番	収納枚数	外寸 ⾧さ・幅	外寸 高さ	収納部内径	特長
6インチ	ND-6N	13枚	250	81	230±1
	VFP-6R-90FG	1枚				両面非接触
8インチ	ND-8	13枚	322	92	299±1
	VFP-ND-8R-90C	1枚				両面非接触
12インチ	ND-12	13枚	430	74	403±1
	NDM-12	13枚	430	72	402＋0.5/-1.5
	NDM-12M	25枚	430	92.5	402＋0.5/-1.5
	VFP-ND-12R-90	1枚				両面非接触

スペーサー

品番	タイプ	特長
CPS-□-350(Z2)	導電性	安定した導電性能、低パーティクル、低イオン。 両面波状エンボス加工による表裏のない構造によりウエハーの貼り付き・傷を防止。 自動機対応
PEA-□-350(Z1)	帯電防止
T-WSR200W	導電性	NA-8M容器専用 非接触搬送用リングスペーサー

• ※：□:ウエハーサイズが入ります。

クッション

品番	タイプ	特長
MA-□PESD-1/3/5/10 ＊1/3/5/10:厚み	導電性	低アウトガス 優れた衝撃吸収性能 パーティクルの発生が少ない独立発泡構造 自動機対応
MA-□PEAS-1/3/5/6/10 ＊1/3/5/6/10:厚み	帯電防止

• ※：□:ウエハーサイズが入ります。