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スペーサー

品番 タイプ 特長
CPS-□-350(Z2) 導電性 安定した導電性能、低パーティクル、低イオン。
両面波状エンボス加工による表裏のない構造によりウエハーの貼り付き・傷を防止。
自動機対応
PEA-□-350(Z1) 帯電防止
T-WSR200X 導電性 NA-8M容器専用
非接触搬送用リングスペーサー
  • ※：□:ウエハーサイズが入ります。